無 塵 室  

【無塵室之定義與應用】

● 利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及 微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room)

● 無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業、精緻 農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。

潔淨室依等級之不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範

在國際標準中最 常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例：

【無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別】

【無塵室設計考量】

                                                                                             1. 粉塵之阻止                                              5. 噪音防止 

                                                                                             2. 溫度與溼度控制                                      6. 靜電與電磁防止 

                                                                                             3. 人員動線                                                  7. 震動問題 

                                                                                             4. 儀器設備位置與移機動線                        8. 安全設施

粉塵之排除 無塵室中最大之微塵粒子來源為「人」，人攜帶之微塵粒子主要藉由洗淨與吹除去除。